핵심 요약

케이씨와 SK하이닉스가 반도체 공정용 가스 공급제어 시스템에 대한 혁신적인 특허를 공동 출원했습니다. 이 기술은 가스 실린더 소진 시점을 동기화하여 공정 중단을 방지하고, 탄소 배출 감소에 기여합니다.

상세내용

케이씨가 SK하이닉스와 손잡고 반도체 공정에 필수적인 가스 공급제어 시스템에 대한 특허를 공동 출원했습니다. 이번 특허는 두 건의 시스템으로 나뉘며, 하드웨어와 소프트웨어를 각각 다루고 있습니다. 첫 번째 특허는 ‘공급라인 압력과 유량 조절이 가능한 가스 분배장치 및 이를 이용한 통합 관제 시스템’으로, 이 특허는 가스 실린더 교체 시 발생할 수 있는 압력 변화를 흡수하여 공정의 중단을 방지하는 데 초점을 맞추고 있습니다.

두 번째 특허는 ‘공급량 제어 분배장치’로, 하드웨어 특허에서 파생된 소프트웨어 기술입니다. 이 기술은 질량유량제어기와 무게 센서가 실시간으로 데이터를 교환하여 각 가스 실린더의 잔량을 정밀하게 관리합니다. 이를 통해 가스가 필요 이상으로 남아있는 경우를 줄이고, 모든 실린더가 동시에 소진되도록 유도합니다.

이 기술의 도입으로 작업자는 보다 효율적인 가스 관리가 가능해집니다. 기존에는 여러 실린더의 가스를 수시로 확인하고 교체해야 했으나, 이제는 데이터 기반의 공정 관리를 통해 중앙 관제 서버에서 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.

투자자 시사점

케이씨와 SK하이닉스의 이번 특허 출원은 반도체 공정의 효율성을 크게 높일 수 있는 기술입니다. 특히, 가스 사용량을 최적화함으로써 탄소 배출 감소에도 기여할 수 있어 ESG 경영에 긍정적인 영향을 미칠 것으로 기대됩니다. 이러한 혁신적인 기술 개발은 두 기업의 경쟁력을 더욱 강화시킬 것으로 보입니다.